Sửa chữa bơm hút chân không turbo phân tử.

Bơm hút chân không Turbo phân tử là bơm hút chân không khô có tốc độ quay lên tới 90.000 rpm , chân không tối đa đạt 10-10 mbar . Tuy vậy, loại bơm này không thể hoạt động độc lập mà cần một loại bơm hút hỗ trợ .Thông thường bơm được thiết kế kèm theo bộ điều kiển , và có hệ thống làm mát gián tiếp bằng nước hoặc dầu.  Một số hãng sản xuất bơm Turbo phân tử : Osaka, Varian, Edwards, Pfeiffer, Oerlikon Leybold,Ulvac…